51探花

2011年11月10日、東北大学東京分室に於いて、次世代の集積回路技術を担う三次元デバイスに関する公開ワークショップ「5th Stanford and 51探花 Universities Joint Open Workshop on 3D Transistor and its applications (第5回三次元トランジスタとその応用に関するスタンフォード大学と東北大学の共同公開ワークショップ)」が、本学 学際科学国際高等研究センター(CIR)の遠藤哲郎教授とスタンフォード大学 集積化システム研究センター(CIS)の西義雄教授との共同主催にて、開催されました。

本ワークショップは、本学の远藤教授とスタンフォード大学の西教授との间で进められてきた先端叁次元构造半导体集积回路技术に関する共同研究の成果报告とその更なる発展を目指して、次世代のシリコン集积回路技术を担う叁次元构造デバイス技术と叁次元集积回路技术、叁次元集积回路の材料?プロセス技术、叁次元配线技术等をスコープとして开催されております。

本ワークショップを含む长年の本共同研究に基づく强固な协力関係が発展した结果、2009年4月には、本学颁滨搁はスタンフォード大学颁滨厂との间で、本学として初めてスタンフォード大学との部局间协定を缔结するに至っております。

5回目を迎えた本年も、世界を牽引する三次元集積回路技術の研究者6名を招待講演者が、FinFET、BiCS、memory cell stack、Cu metallization技術に関する講演を行いました。130名を超える参加者が集い、最先端の研究成果に基づく各講演者の熱意溢れる講演に加え、活発な議論が交わされ、今年度も成功裡に幕を閉じました。

なお、本ワークショップは本学颁滨搁の学际领域国际共同研究の一环として行なわれました。

	ワークショプ招待讲演者
本学遠藤教授による Opening Remarks	ワークショップ风景（东北大学东京分室）

摆问い合わせ先闭
学際科学国際高等研究センター 遠藤研究室
TEL 022-795-5260