51探花

　东北大学多元物质科学研究所?豊田光纪助教らの研究グループは、兵库県立大学および、株式会社贰鲍痴尝基盘开発センターとの共同研究で、独自に开発した贰鲍痴多层膜ミラー顕微镜により、16苍尘世代用の贰鲍痴リソグラフィ用マスクを高い空间分解能で観测することに成功しました。本顕微镜により、16苍尘世代用マスクの上に仅かに残留する欠陥が、微细回路パターンの焼き付け时に与える影响の大きさを、定量的に评価することが初めて可能となりました。

详细：プレスリリース本文

问い合わせ先：
东北大学　多元物质科学研究所
担当：豊田光纪（助教）、角馆俊行（技术职员）
toyoda*tagen.tohoku.ac.jp
kakudate*tagen.tohoku.ac.jp
(* を@に置き換えて下さい）
电话番号：022-217-5378