2019年 | プレスリリース?研究成果
高感度?高精细?リアルタイム近接容量イメージセンサを开発
【発表のポイント】
- 计测対象にセンサを近づけた际に生じる近接容量の二次元分布を高感度?高精细?リアルタイムに计测できる近接容量イメージセンサ(※1)を开発
- 新しいノイズリダクション技术で10-19贵の容量検出精度を达成
- 电子产业、认証、ライフサイエンス、农业分野などで分析、管理の高効率化に贡献
【概要】
東北大学大学院工学研究科技術社会システム専攻?未来科学技術共同研究センターの須川成利教授の研究グループは、オー?エイチ?ティー株式会社（社長：羽森 寛、本社：広島県福山市神辺町西中条1181-1）と共同で、フラットパネル?電子回路基板の検査や生細胞のイメージング等に期待される、微小な容量分布を2次元で高精細に動画撮影が行える近接容量イメージセンサの開発に成功しました。
近接容量イメージセンサは、指纹认証やタッチセンサー、材料内部の非破壊検査、液面レベルセンサー等に使われており、今后はフラットパネル?电子回路基板の非接触による电気検査や、细胞反応の可视化、植物活性度のモニタリング等への活用も期待されています。
今回、開発した近接容量イメージセンサでは、高感度CMOSイメージセンサの研究で培ったノイズリダクション技術を応用し、0.1アット（※2）贵の容量検出精度を达成しました。プロトタイプチップによる優れた容量イメージング性能を実証し、微小な二次元容量分布を高感度?高精細にリアルタイムで検出する技術の原理確認に成功しました。
以上の成果は、2018年12月3日～5日に米国サンフランシスコで開催された国際学会「米国電気電子学会（※3）国際電子デバイス会議（IEEE International Electron Devices Meeting）」で発表しました。
【语句説明】
(※1) 近接容量イメージセンサ：近接容量とは、計測対象にセンサを近づけた際に計測対象とセンサ内の電極間に生じる容量のことであり、近接容量イメージセンサはこの近接容量を二次元のエリアで検量するセンサを示す。指紋認証やタッチセンサー、材料内部の非破壊検査、液面レベルセンサー等に使われている。
(※2) アット：国際単位系の接頭辞の一つで、単位の10-18倍の量であることを示す。
(※3) 米国電気電子学会：The Institute of Electrical and Electronics Engineers,の略。通称 IEEE （アイ?トリプル?イー）。人類社会の有益な技術革新に貢献することを目的とした世界最大の電気?電子技術に関する専門家組織で、世界160ヵ国以上、40万人を超える会員がいる。
左?中央：开発した近接容量イメージセンサの画素断面构造と容量计测方法の模式図
（测定対象が导体、液体中の场合）。右図：计测容量の分布の例。
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