複雑な表面構造を詳細に決定することに成功 厚さ1ナノメートルの全表面構造を大量の電子回折パターンで決定

複雑な表面構造を詳細に決定することに成功厚さ1ナノメートルの全表面構造を大量の電子回折パターンで決定

2021年12月22日 10:00 | プレスリリース?研究成果

【本学研究者情报】

〇国際放射光イノベーションスマート研究センター (兼)多元物質科学研究所　教授　虻川匡司

【発表のポイント】

ナノテクノロジーにおける微细化に伴い重要になっている结晶の表面构造を精密かつ迅速に决定することに成功。
多数の方向から数千枚の电子回折^注1パターンを计测する独自の手法で、これまで谁も决定できなかった表面构造を十分な深さまで完全に解明した。
本手法により迅速な表面构造解析が现実的な时间で可能になり、表面构造を含めたナノテクノロジーの発展が期待される。

【概要】

半导体ナノテクノロジーにおいて重要なシリコン结晶^注2は、复雑な表面构造を示すことが知られており、これまでは、复雑な表面构造を决定するために、様々な手法により长い年月をかけた研究?解析が必要でした。东北大学国际放射光イノベーション?スマート研究センターの虻川匡司教授（多元物质科学研究所兼务）らの研究グループ、その复雑な表面构造を详细に迅速に决定することに成功しました。本研究では、独自に开発した数千枚の电子回折パターンを短时间で测定する方法で、表面から5原子层程度の厚さ1ナノメートル^注３の领域の原子配列を叁次元的に精密に决定することに世界で初めて成功しました。

本研究成果は、12月8日にPhysical Review Research誌に掲載されました。